Анализ твёрдотельных гетеронаносистем методом РФЭС: Учебно-методическое пособие
Николичев Д. Е., Боряков А. В., Суродин С. И., Крюков Р. Н.
Рассматриваются физические основы метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Рассмотрены методы интерпретации фотоэлектронных спектров. Описана методика проведения количественного химического анализа методом РФЭС совместно с ионным профилированием структур с нанометровыми слоями. Приведены примеры анализа состава наноструктур на основе оксида кремния и спинтронных систем на основе арсенида галлия
Для студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по специальностям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника" и 210100 – "Электроника и наноэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур"
Для студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по специальностям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника" и 210100 – "Электроника и наноэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур"
İl:
2013
Nəşriyyat:
ЭБС Лань
Dil:
russian
Səhifələr:
50
Fayl:
PDF, 918 KB
IPFS:
,
russian, 2013