Вакуумное оборудование для нанесения пленок
Минайчев Виктор Егорович
Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудования.
Kateqoriyalar:
İl:
1978
Nəşriyyat:
Машиностроение
Dil:
russian
Səhifələr:
30
Fayl:
DJVU, 877 KB
IPFS:
,
russian, 1978
Litres
Kitab mağazasını əlavə etmək istəyirsiniz? Bizimlə support@z-lib.do ilə əlaqə saxlayın
Faylları çevirin
Daha çox axtarış nəticəsi
Digər üstünlüklər 
